MgF2 substrat
Düşündiriş
MgF2 110nm-den 7.5μm çenli tolkun uzynlygy üçin linza, prizma we penjire hökmünde ulanylýar.193nm-de gowy geçirendigi sebäpli ArF Excimer Lazer üçin penjire hökmünde iň amatly materialdyr.Şeýle hem ultramelewşe sebitde optiki polýarizasiýa hökmünde täsirli.
Sypatlar
| Dykyzlygy （g / sm3） | 3.18 |
| Eriş nokady (℃) | 1255 |
| Malylylyk geçirijiligi | 300K-de 0,3 Wm-1K-1 |
| Malylylyk giňelmesi | 13,7 x 10-6 / ℃ parallel c-ok 8.9 x 10-6 / ℃ perpendikulýar c-ok |
| Gaty berklik | 100 gr indenterli 415 (kg / mm2) |
| Aýratyn ýylylyk kuwwaty | 1003 J / (kg.k) |
| Dielektrik yzygiderli | 1.8M 1MHz paralel c okunda 1.45 MGs perpendikulýar c okunda |
| Youngaş modul (E) | 138.5 GPa |
| Gyrkym moduly (G) | 54.66 GPa |
| Köp modul (K) | 101.32 GPa |
| Elastik koeffisiýenti | C11 = 164;C12 = 53;C44 = 33.7 C13 = 63;C66 = 96 |
| Görnüşi ýaly elastik çäk | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Poisson gatnaşygy | 0.276 |
MgF2 substrat kesgitlemesi
MgF2 substraty magniý ftoridinden (MgF2) kristal materialdan ýasalan substraty aňladýar.MgF2 magniý (Mg) we ftor (F) elementlerinden ybarat organiki däl birleşme.
MgF2 substratlary dürli programmalarda, esasanam optika we inçe film çöketliklerinde meşhur edýän birnäçe görnükli häsiýetlere eýe:
1. transpokary aýdyňlyk: MgF2 ultramelewşe (UV), elektromagnit spektriň görünýän we infragyzyl (IR) sebitlerinde ajaýyp aýdyňlyga eýe.Ultramelewşe reňkden takmynan 115 nm, infragyzyl takmynan 7500 nm aralygynda giň ýaýlym aralygy bar.
2. Döwülmegiň pes görkezijisi: MgF2 döwülmegiň görkezijisi birneme pes, bu AR örtükleri we optika üçin ideal material bolýar, sebäbi islenmeýän şöhleleri azaldýar we ýagtylygyň geçirişini gowulandyrýar.
3. Pes siňdiriş: MgF2 ultramelewşe we görünýän spektral sebitlerde pes siňdirişi görkezýär.Bu häsiýet ultramelewşe ýa-da görünýän şöhleler üçin linzalar, prizmalar we penjireler ýaly ýokary optiki aýdyňlygy talap edýän programmalarda peýdaly edýär.
4. Himiki durnuklylyk: MgF2 himiki taýdan durnukly, himiki maddalaryň köpüsine çydamly we daşky gurşawyň köp şertlerinde optiki we fiziki aýratynlyklaryny saklaýar.
5. malylylyk durnuklylygy: MgF2 ýokary eriş nokadyna eýe bolup, ep-esli zaýalanmazdan ýokary iş temperaturasyna çydap biler.
MgF2 substratlary köplenç optiki örtüklerde, inçe film çökdürmekde we dürli enjamlarda we ulgamlarda optiki penjirelerde ýa-da linzalarda ulanylýar.Şeýle hem ýarymgeçiriji materiallar ýa-da metal örtükler ýaly beýleki inçe filmleriň ösmegi üçin bufer gatlaklary ýa-da şablonlar bolup biler.
Bu substratlar, adatça bug buglamak ýa-da fiziki bug daşamak usullary ýaly usullar bilen öndürilýär, bu ýerde MgF2 materialy degişli substrat materialyna goýulýar ýa-da ýekeje kristal hökmünde ösdürilýär.Programma talaplaryna baglylykda substratlar wafli, tabak ýa-da adaty şekilde bolup biler.
